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公司介绍 ABOUT

关于天燿

天燿股份有限公司(由原台湾富创得工程(股)公司于2024年10月更名)成立于2008年。是一个具有自主IP产权的半导体设备研发、制造、销售客服产品公司。公司提供3大产品路线:(1)SMIF生产线全自动密闭盒上下料load ports和物料管控ID(IR和RFID)自动化系统;(2)高精度无尘wafer robot和设备前端自动化系统(EFEM/Sorter); (3)高温无尘无氧晶圆烘烤箱(thermal curing oven)和批量生产自动化整合系统。

天燿股份有限公司SMIF上下料系统核心技术传承于美国SMIF技术发明人 Fortrend Engineering,经过近20年的技术积累以及市场经验,公司于2024年推出LPT+系列的全新200mm和300mm的SMIF load ports。在 wafer robot产品方面,公司也推出了全新的 Bravo系列robots,在产能、精度、稳定性、和无尘洁净度四方面,完美的提供目前市面上性价比最高的robot产品线,也为公司提供的标准Sorter和客制化EFEM提供了更强大的市场竞争力。公司的FVO 烤箱系列,采用公司最新的多轴温控技术,在(+60~450度) 的全程温控范围内,可以保证 (+/- 1%)设定温度的温控均匀度,并且在全程温控范围内保证优于Class-10的腔体内洁净度,提供了市场竞争的最高标准。公司的oven系统也因此赢得国内外先进晶圆厂订单,成为三维集成电路(3DIC)高阶封装制程的设备的主流供货商。